SM280-自动显微薄膜厚度测绘仪

产品概述

SM280是一款利用利用薄膜反射光干涉原理研制而成的显微薄膜厚度测绘仪。它利用波长范围最宽为200-1700nm的光垂直入射到薄膜表面，只要薄膜有一定程度的透射，SM280就能根据反射回来的干涉光谱拟合计算出薄膜的厚度，其厚度最大测绘范围可以达到10nm~100um，SM280配备专用显微镜系统，最小可支持10um大小的微小样品测试，软件具备模板匹配和自动对焦功能，并支持测量点位路径绘制及支持以2D/3D方式呈现测量结果。

SM280自动显微薄膜厚度测绘仪采用一体化设计，核心器件采用高分辨率、高灵敏度光谱仪、高性能工业CCD和高精度的3轴移动平台，结合奥谱天成独有的算法技术，为用户提供的全新一代领先的自动显微薄膜厚度测绘仪。

产品特征

最大波段范围：200nm~1000nm、400nm~1000nm或900nm~1400nm；

非接触式、非波坏行的系统检测系统；

超长寿命光源，高效的发光效率；

高分辨率、高灵敏度光谱仪，测量结果更准确可靠；

软件界面直观，操作方便高效；

配备吸纳为物镜，支持检测小尺寸样品；

测绘速度快，支持多点测绘点位地图绘制；

支持绘制2D/3D厚度分布图；

高精度、长寿命的3轴旋转平台；

历史数据存储功能，处理数据更加方便快捷；

桌面式设计，使用场景丰富；

维护成本低，保养方便。

产品应用

半导体镀膜：光刻胶、氧化物、淡化层、绝缘体上硅、晶片背面研磨

液晶显示：间隙厚度、聚酰亚胺、ITO透明导电膜

光学镀膜：硬涂层、抗反射层

微电子系统：光刻胶、硅系膜状物、印刷电路板；

生物医学：医疗设备、Parylene